UHP超高純PFA/PTFE流量計(jì) (3/4') – FM-4 系列
PARKER派克FM-4系列PFA/PTFE流量計(jì)用于需要精密液體流量控制的超高純應(yīng)用。它提供*耐腐蝕性，采用無(wú)泄漏操作的卡套技術(shù) (高壓力120 psig).
派克FM-4系列是3/4"PFA/PTFE流量計(jì)， 非常適合需要對(duì)流體進(jìn)行控制和測(cè)量的高純應(yīng)用。采用PTFE體、高純PFA桶、精密加工針閥元件。這些特點(diǎn)使流量計(jì)具有高循環(huán)壽命、的泄露完整性和優(yōu)異的耐腐蝕性。 

并非典型的面對(duì)面密封，F(xiàn)M-4系列采用壓縮技術(shù)將桶與本體進(jìn)行密封。確保可靠、無(wú)泄漏操作，使端口可360°定位，增加靈活性。流量計(jì)*的PTFE浮動(dòng)設(shè)計(jì)允許在各種化學(xué)品中的連續(xù)讀出和能見(jiàn)性。

FM-4系列可配備Parflare入口和出口連接方式，節(jié)約裝配和安裝時(shí)間，確保潔凈至關(guān)重要的應(yīng)用中無(wú)泄漏密封性能。  

市場(chǎng):
• 半導(dǎo)體 
• 分析試驗(yàn)室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
• PTFE和PFA接液面提供高彎曲壽命和優(yōu)異的耐腐蝕性
• 壓力范圍 0-120 psig
• 標(biāo)準(zhǔn)配置為一體式針閥控制流量和面板安裝螺母用于安裝
• 壓縮式桶與本體密封確保零泄漏，允許360°端口定位
• 流量范圍:根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同2 – 5 加侖/分 
• 出入口可選Parflare連接方式 
• 環(huán)境溫度范圍:0°F 至 +212° F (-17°C 至 +100° C)
• 流體溫度范圍:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)

應(yīng)用:
• 腐蝕性和/或特殊化學(xué)品, 酸, 堿和泥漿
• 半導(dǎo)體工具
• CMP/泥漿系統(tǒng)
• 閥組箱 (VMBs)

PARKER派克FM-4系列PFA/PTFE流量計(jì)性能特點(diǎn)
閥體材料 PFA, PTFE, Polypro, PVDF
壓力范圍 0 psig-120 psig (8.3 bar)
高外界溫度（C) 100°C
高外界溫度（F) 212°F
低環(huán)境溫度(C) -17°C
低環(huán)境溫度(F) 0°F
高流體溫度（C) 130°C
高流體溫度（F) 266°F
小液體溫度 (C) -17°C
小液體溫度 (F) 0°F

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